Threshold energy for sputtering and its dependence on angle of incidence

  1. Eckstein, W.
  2. Garciá-Rosales, C.
  3. Roth, J.
  4. László, J.
Aldizkaria:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Argitalpen urtea: 1993

Alea: 83

Zenbakia: 1-2

Orrialdeak: 95-109

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0168-583X(93)95913-P GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus