Threshold energy for sputtering and its dependence on angle of incidence

  1. Eckstein, W.
  2. Garciá-Rosales, C.
  3. Roth, J.
  4. László, J.
Zeitschrift:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 1993

Ausgabe: 83

Nummer: 1-2

Seiten: 95-109

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0168-583X(93)95913-P GOOGLE SCHOLAR

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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