Threshold energy for sputtering and its dependence on angle of incidence

  1. Eckstein, W.
  2. Garciá-Rosales, C.
  3. Roth, J.
  4. László, J.
Revista:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Ano de publicación: 1993

Volume: 83

Número: 1-2

Páxinas: 95-109

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/0168-583X(93)95913-P GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

Fonte de datos: Scopus