Ru and RuO2 gate electrodes for advanced CMOS technology

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Zeitschrift:
Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology

ISSN: 0921-5107

Datum der Publikation: 2004

Ausgabe: 109

Nummer: 1-3

Seiten: 117-121

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.MSEB.2003.10.061 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus