Mechanical and electrical properties Of SiO2 thin films r.f. sputtered on non-silicon substrates for mechanical sensors

  1. García-Alonso, A.
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  5. Gracia, F.J.
Revista:
Sensors and Actuators: A. Physical

ISSN: 0924-4247

Año de publicación: 1993

Volumen: 37-38

Número: C

Páginas: 57-60

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0924-4247(93)80012-6 GOOGLE SCHOLAR
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