Strain sensitivity and temperature influence on sputtered thin films for piezoresistive sensors

  1. García-Alonso, A.
  2. García, J.
  3. Castaño, E.
  4. Obieta, I.
  5. Gracia, F.J.
Revista:
Sensors and Actuators: A. Physical

ISSN: 0924-4247

Any de publicació: 1993

Volum: 37-38

Número: C

Pàgines: 784-789

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0924-4247(93)80132-Z GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus