Strain sensitivity and temperature influence on sputtered thin films for piezoresistive sensors

  1. García-Alonso, A.
  2. García, J.
  3. Castaño, E.
  4. Obieta, I.
  5. Gracia, F.J.
Zeitschrift:
Sensors and Actuators: A. Physical

ISSN: 0924-4247

Datum der Publikation: 1993

Ausgabe: 37-38

Nummer: C

Seiten: 784-789

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0924-4247(93)80132-Z GOOGLE SCHOLAR
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