Strain sensitivity and temperature influence on sputtered thin films for piezoresistive sensors

  1. García-Alonso, A.
  2. García, J.
  3. Castaño, E.
  4. Obieta, I.
  5. Gracia, F.J.
Aldizkaria:
Sensors and Actuators: A. Physical

ISSN: 0924-4247

Argitalpen urtea: 1993

Alea: 37-38

Zenbakia: C

Orrialdeak: 784-789

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0924-4247(93)80132-Z GOOGLE SCHOLAR