Porous silicon for the development of capacitive microstructures

  1. Sancho, A.
  2. Arizti, F.
  3. Gracia, F.J.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Año de publicación: 2009

Volumen: 86

Número: 11

Páginas: 2144-2148

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MEE.2009.02.031 GOOGLE SCHOLAR
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