Hardness of C, CNx and AlN thin films after rapid thermal annealing
- Beshkov, G.
- Vassilev, G.P.
- Elizalde, M.R.
- Gomez-Acebo, T.
ISSN: 0254-0584
Año de publicación: 2003
Volumen: 82
Número: 2
Páginas: 452-457
Tipo: Artículo
Revista:
Materials Chemistry and Physics