Interference lithography processes with high-power laser pulses

  1. Rodriguez, A.
  2. Ellman, M.
  3. Ayerdi, I.
  4. Perez, N.
  5. Olaizola, S.M.
  6. Zhangb, J.
  7. Ji, Z.
  8. Berthouc, T.
  9. Pengd, C.S.
  10. Verevkine, Y.K.
  11. Wang, Z.
Actes:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Any de publicació: 2009

Volum: 7201

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1117/12.808834 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus