Interference lithography processes with high-power laser pulses

  1. Rodriguez, A.
  2. Ellman, M.
  3. Ayerdi, I.
  4. Perez, N.
  5. Olaizola, S.M.
  6. Zhangb, J.
  7. Ji, Z.
  8. Berthouc, T.
  9. Pengd, C.S.
  10. Verevkine, Y.K.
  11. Wang, Z.
Konferenzberichte:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Datum der Publikation: 2009

Ausgabe: 7201

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1117/12.808834 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus