Interference lithography processes with high-power laser pulses
- Rodriguez, A.
- Ellman, M.
- Ayerdi, I.
- Perez, N.
- Olaizola, S.M.
- Zhangb, J.
- Ji, Z.
- Berthouc, T.
- Pengd, C.S.
- Verevkine, Y.K.
- Wang, Z.
Actes de conférence:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
ISSN: 0277-786X
Année de publication: 2009
Volumen: 7201
Type: Communication dans un congrès
