System requirement analysis of laser interference nanolithography

  1. Wang, Z.
  2. Zhang, J.
  3. Peng, C.
  4. Tan, C.
  5. Ayerdi, I.
  6. Rodriguez, A.
  7. Verevkin, Y.K.
  8. Berthou, T.
  9. Tisserand, S.
  10. Olaizola, S.M.
Actes:
Proceedings of the 2007 IEEE International Conference on Mechatronics and Automation, ICMA 2007

ISBN: 9781424408283

Any de publicació: 2007

Pàgines: 434-439

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1109/ICMA.2007.4303582 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus