System requirement analysis of laser interference nanolithography

  1. Wang, Z.
  2. Zhang, J.
  3. Peng, C.
  4. Tan, C.
  5. Ayerdi, I.
  6. Rodriguez, A.
  7. Verevkin, Y.K.
  8. Berthou, T.
  9. Tisserand, S.
  10. Olaizola, S.M.
Actas:
Proceedings of the 2007 IEEE International Conference on Mechatronics and Automation, ICMA 2007

ISBN: 9781424408283

Ano de publicación: 2007

Páxinas: 434-439

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1109/ICMA.2007.4303582 GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

Fonte de datos: Scopus