System requirement analysis of laser interference nanolithography

  1. Wang, Z.
  2. Zhang, J.
  3. Peng, C.
  4. Tan, C.
  5. Ayerdi, I.
  6. Rodriguez, A.
  7. Verevkin, Y.K.
  8. Berthou, T.
  9. Tisserand, S.
  10. Olaizola, S.M.
Actes de conférence:
Proceedings of the 2007 IEEE International Conference on Mechatronics and Automation, ICMA 2007

ISBN: 9781424408283

Année de publication: 2007

Pages: 434-439

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1109/ICMA.2007.4303582 GOOGLE SCHOLAR

Objectifs de Développement Durable

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