Thermal behavior of freestanding microstructures fabricated by silicon frontside processing using porous silicon as sacrificial layer
- Puente, D.
- Arana, S.
- Gracia, J.
- Ayerdi, I.
ISSN: 1530-437X
Any de publicació: 2006
Volum: 6
Número: 3
Pàgines: 548-556
Tipus: Article