Thermal behavior of freestanding microstructures fabricated by silicon frontside processing using porous silicon as sacrificial layer

  1. Puente, D.
  2. Arana, S.
  3. Gracia, J.
  4. Ayerdi, I.
Revista:
IEEE Sensors Journal

ISSN: 1530-437X

Ano de publicación: 2006

Volume: 6

Número: 3

Páxinas: 548-556

Tipo: Artigo

DOI: 10.1109/JSEN.2006.874030 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus