Thermal behavior of freestanding microstructures fabricated by silicon frontside processing using porous silicon as sacrificial layer

  1. Puente, D.
  2. Arana, S.
  3. Gracia, J.
  4. Ayerdi, I.
Zeitschrift:
IEEE Sensors Journal

ISSN: 1530-437X

Datum der Publikation: 2006

Ausgabe: 6

Nummer: 3

Seiten: 548-556

Art: Artikel

DOI: 10.1109/JSEN.2006.874030 GOOGLE SCHOLAR
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