Thermal behavior of freestanding microstructures fabricated by silicon frontside processing using porous silicon as sacrificial layer

  1. Puente, D.
  2. Arana, S.
  3. Gracia, J.
  4. Ayerdi, I.
Revista:
IEEE Sensors Journal

ISSN: 1530-437X

Año de publicación: 2006

Volumen: 6

Número: 3

Páginas: 548-556

Tipo: Artículo

DOI: 10.1109/JSEN.2006.874030 GOOGLE SCHOLAR
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