Thermal behavior of freestanding microstructures fabricated by silicon frontside processing using porous silicon as sacrificial layer

  1. Puente, D.
  2. Arana, S.
  3. Gracia, J.
  4. Ayerdi, I.
Aldizkaria:
IEEE Sensors Journal

ISSN: 1530-437X

Argitalpen urtea: 2006

Alea: 6

Zenbakia: 3

Orrialdeak: 548-556

Mota: Artikulua

DOI: 10.1109/JSEN.2006.874030 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus