Selective formation of porous silicon using silicon nitride and SU-8 masks for electroluminescence applications

  1. Celigüeta, I.
  2. Arana, S.
  3. Gracia, F.J.
  4. Castaño, E.
Actas:
2005 Spanish Conference on Electron Devices, Proceedings

ISBN: 9780780388109

Año de publicación: 2005

Volumen: 2005

Páginas: 331-334

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SCED.2005.1504395 GOOGLE SCHOLAR