Quality inspection of nanoscale patterns produced by laser interference lithography using image analysis techniques

  1. Ji, Z.
  2. Zhang, J.
  3. Peng, C.
  4. Tan, C.
  5. Olaizola, S.M.
  6. Berthou, T.
  7. Tisserand, S.
  8. Verevkin, Y.K.
  9. Wang, Z.
Actes:
2009 IEEE International Conference on Mechatronics and Automation, ICMA 2009

ISBN: 9781424426935

Any de publicació: 2009

Pàgines: 1835-1840

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1109/ICMA.2009.5246458 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus