Formation of 4-beam laser interference patterns for nanolithography

  1. Zhang, J.
  2. Wang, Z.
  3. Verevkin, Y.K.
  4. Olaizola, S.M.
  5. Peng, C.
  6. Tan, C.
  7. Rodriguez, A.
  8. Daume, E.Y.
  9. Berthou, T.
  10. Tisserand, S.
  11. Ji, Z.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819467218

Año de publicación: 2007

Volumen: 6593

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.723782 GOOGLE SCHOLAR
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