Current developments and applications using multi-beam laser interference lithography for nanoscale structuring of materials

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Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819467218

Año de publicación: 2007

Volumen: 6593

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.723620 GOOGLE SCHOLAR
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