Optimization of a three-electrode electrochemical etch-stop process

  1. Elizalde, J.G.
  2. Olaizola, S.
  3. Bistué, G.
  4. Castaño, E.
  5. García-Alonso, A.
  6. Gracia, F.J.
Revista:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Año de publicación: 1997

Volumen: 62

Número: 1-3

Páginas: 668-671

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0924-4247(97)01540-9 GOOGLE SCHOLAR
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