Mechanical Robustness of Patterned Structures and Failure Mechanisms

  1. Zschech, E.
  2. Elizalde, M.R.
Llibre:
More-than-Moore Devices and Integration for Semi Conductors

ISBN: 9783031216091

Any de publicació: 2023

Pàgines: 157-190

Tipus: Capítol de llibre

DOI: 10.1007/978-3-031-21610-7_5 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus