Mechanical Robustness of Patterned Structures and Failure Mechanisms

  1. Zschech, E.
  2. Elizalde, M.R.
Liburua:
More-than-Moore Devices and Integration for Semi Conductors

ISBN: 9783031216091

Argitalpen urtea: 2023

Orrialdeak: 157-190

Mota: Liburuko kapitulua

DOI: 10.1007/978-3-031-21610-7_5 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus