Mechanical Robustness of Patterned Structures and Failure Mechanisms

  1. Zschech, E.
  2. Elizalde, M.R.
Buch:
More-than-Moore Devices and Integration for Semi Conductors

ISBN: 9783031216091

Datum der Publikation: 2023

Seiten: 157-190

Art: Buch-Kapitel

DOI: 10.1007/978-3-031-21610-7_5 GOOGLE SCHOLAR

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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