High-temperature polysilicon pressure microsensor

  1. Obieta, I.
  2. Castaño, E.
  3. Gracia, F.J.
Revista:
"Sensors and Actuators, A: Physical"

ISSN: 0924-4247

Any de publicació: 1995

Volum: 46

Número: 1-3

Pàgines: 161-165

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0924-4247(94)00882-I GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus