High-temperature polysilicon pressure microsensor

  1. Obieta, I.
  2. Castaño, E.
  3. Gracia, F.J.
Aldizkaria:
"Sensors and Actuators, A: Physical"

ISSN: 0924-4247

Argitalpen urtea: 1995

Alea: 46

Zenbakia: 1-3

Orrialdeak: 161-165

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0924-4247(94)00882-I GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus