High-temperature polysilicon pressure microsensor

  1. Obieta, I.
  2. Castaño, E.
  3. Gracia, F.J.
Revista:
"Sensors and Actuators, A: Physical"

ISSN: 0924-4247

Ano de publicación: 1995

Volume: 46

Número: 1-3

Páxinas: 161-165

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/0924-4247(94)00882-I GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

Fonte de datos: Scopus