High-temperature polysilicon pressure microsensor

  1. Obieta, I.
  2. Castaño, E.
  3. Gracia, F.J.
Zeitschrift:
"Sensors and Actuators, A: Physical"

ISSN: 0924-4247

Datum der Publikation: 1995

Ausgabe: 46

Nummer: 1-3

Seiten: 161-165

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0924-4247(94)00882-I GOOGLE SCHOLAR

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