Interference lithography processes with high-power laser pulses
- Rodriguez, A.
- Ellman, M.
- Ayerdi, I.
- Perez, N.
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Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
ISSN: 0277-786X
Año de publicación: 2009
Volumen: 7201
Tipo: Aportación congreso