Laser interference lithography for nanoscale structuring of materials: From laboratory to industry

  1. Rodriguez, A.
  2. Echeverría, M.
  3. Ellman, M.
  4. Perez, N.
  5. Verevkin, Y.K.
  6. Peng, C.S.
  7. Berthou, T.
  8. Wang, Z.
  9. Ayerdi, I.
  10. Savall, J.
  11. Olaizola, S.M.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Any de publicació: 2009

Volum: 86

Número: 4-6

Pàgines: 937-940

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.MEE.2008.12.043 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus