Laser interference lithography for nanoscale structuring of materials: From laboratory to industry

  1. Rodriguez, A.
  2. Echeverría, M.
  3. Ellman, M.
  4. Perez, N.
  5. Verevkin, Y.K.
  6. Peng, C.S.
  7. Berthou, T.
  8. Wang, Z.
  9. Ayerdi, I.
  10. Savall, J.
  11. Olaizola, S.M.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Ano de publicación: 2009

Volume: 86

Número: 4-6

Páxinas: 937-940

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/J.MEE.2008.12.043 GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

Fonte de datos: Scopus