Laser interference lithography for nanoscale structuring of materials: From laboratory to industry

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Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Ano de publicación: 2009

Volume: 86

Número: 4-6

Páxinas: 937-940

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/J.MEE.2008.12.043 GOOGLE SCHOLAR
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