Laser interference lithography for nanoscale structuring of materials: From laboratory to industry

  1. Rodriguez, A.
  2. Echeverría, M.
  3. Ellman, M.
  4. Perez, N.
  5. Verevkin, Y.K.
  6. Peng, C.S.
  7. Berthou, T.
  8. Wang, Z.
  9. Ayerdi, I.
  10. Savall, J.
  11. Olaizola, S.M.
Zeitschrift:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Datum der Publikation: 2009

Ausgabe: 86

Nummer: 4-6

Seiten: 937-940

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MEE.2008.12.043 GOOGLE SCHOLAR
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