Laser interference lithography for nanoscale structuring of materials: From laboratory to industry

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Zeitschrift:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Datum der Publikation: 2009

Ausgabe: 86

Nummer: 4-6

Seiten: 937-940

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MEE.2008.12.043 GOOGLE SCHOLAR

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