Laser interference lithography for nanoscale structuring of materials: From laboratory to industry

  1. Rodriguez, A.
  2. Echeverría, M.
  3. Ellman, M.
  4. Perez, N.
  5. Verevkin, Y.K.
  6. Peng, C.S.
  7. Berthou, T.
  8. Wang, Z.
  9. Ayerdi, I.
  10. Savall, J.
  11. Olaizola, S.M.
Aldizkaria:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Argitalpen urtea: 2009

Alea: 86

Zenbakia: 4-6

Orrialdeak: 937-940

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.MEE.2008.12.043 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus