High-power laser interference lithography process on photoresist: Effect of laser fluence and polarisation

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Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2009

Ausgabe: 255

Nummer: 10

Seiten: 5537-5541

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2008.07.201 GOOGLE SCHOLAR
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