System requirement analysis of laser interference nanolithography

  1. Wang, Z.
  2. Zhang, J.
  3. Peng, C.
  4. Tan, C.
  5. Ayerdi, I.
  6. Rodriguez, A.
  7. Verevkin, Y.K.
  8. Berthou, T.
  9. Tisserand, S.
  10. Olaizola, S.M.
Actas:
Proceedings of the 2007 IEEE International Conference on Mechatronics and Automation, ICMA 2007

ISBN: 9781424408283

Año de publicación: 2007

Páginas: 434-439

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/ICMA.2007.4303582 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus