Characterization of tantalum oxynitride thin films as high-temperature strain gauges
- Ayerdi, I.
- Castaño, E.
- García-Alonso, A.
- Gracia, F.J.
ISSN: 0924-4247
Any de publicació: 1995
Volum: 46
Número: 1-3
Pàgines: 218-221
Tipus: Article
ISSN: 0924-4247
Any de publicació: 1995
Volum: 46
Número: 1-3
Pàgines: 218-221
Tipus: Article