Characterization of tantalum oxynitride thin films as high-temperature strain gauges
- Ayerdi, I.
- Castaño, E.
- García-Alonso, A.
- Gracia, F.J.
ISSN: 0924-4247
Datum der Publikation: 1995
Ausgabe: 46
Nummer: 1-3
Seiten: 218-221
Art: Artikel
Zeitschrift:
"Sensors and Actuators, A: Physical"