Characterization of tantalum oxynitride thin films as high-temperature strain gauges

  1. Ayerdi, I.
  2. Castaño, E.
  3. García-Alonso, A.
  4. Gracia, F.J.
Aldizkaria:
"Sensors and Actuators, A: Physical"

ISSN: 0924-4247

Argitalpen urtea: 1995

Alea: 46

Zenbakia: 1-3

Orrialdeak: 218-221

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0924-4247(94)00893-M GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus