Dislocation generation related to micro-cracks in Si wafers: High temperature in situ study with white beam X-ray topography

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Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 2010

Ausgabe: 268

Nummer: 3-4

Seiten: 399-402

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.NIMB.2009.09.013 GOOGLE SCHOLAR
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