Quality inspection of nanoscale patterns produced by laser interference lithography using image analysis techniques

  1. Ji, Z.
  2. Zhang, J.
  3. Peng, C.
  4. Tan, C.
  5. Olaizola, S.M.
  6. Berthou, T.
  7. Tisserand, S.
  8. Verevkin, Y.K.
  9. Wang, Z.
Actas:
2009 IEEE International Conference on Mechatronics and Automation, ICMA 2009

ISBN: 9781424426935

Año de publicación: 2009

Páginas: 1835-1840

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/ICMA.2009.5246458 GOOGLE SCHOLAR
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