High-temperature polysilicon pressure microsensor

  1. Obieta, I.
  2. Castaño, E.
  3. Gracia, F.J.
Revista:
"Sensors and Actuators, A: Physical"

ISSN: 0924-4247

Año de publicación: 1995

Volumen: 46

Número: 1-3

Páginas: 161-165

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0924-4247(94)00882-I GOOGLE SCHOLAR
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