In situ observations of dc and ac electromigration in passivated Al lines

  1. Castaño, E.
  2. Maiz, J.
  3. Flinn, P.
  4. Madden, M.
Zeitschrift:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Datum der Publikation: 1991

Ausgabe: 59

Nummer: 1

Seiten: 129-131

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.105551 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
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