In situ observations of dc and ac electromigration in passivated Al lines

  1. Castaño, E.
  2. Maiz, J.
  3. Flinn, P.
  4. Madden, M.
Aldizkaria:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Argitalpen urtea: 1991

Alea: 59

Zenbakia: 1

Orrialdeak: 129-131

Mota: Artikulua

DOI: 10.1063/1.105551 GOOGLE SCHOLAR lock_openSarbide irekia editor

Garapen Iraunkorreko Helburuak