Dislocation generation related to micro-cracks in Si wafers: High temperature in situ study with white beam X-ray topography

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Revista:
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ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 2010

Volumen: 268

Número: 3-4

Páginas: 399-402

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.NIMB.2009.09.013 GOOGLE SCHOLAR
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